Chemical Mechanical Polishing of InSb

Detta är en Master-uppsats från Lunds universitet/Institutionen för elektro- och informationsteknik

Författare: David Linehan; [2021]

Nyckelord: CMP; InSb; Chemical Mechanical Polishing; Indium; Antimonide; AFM; Profilometer; Ultrasonic; PVA; Smooth; Rough; Etch; Planarization; Technology and Engineering;

Sammanfattning:

HÄR KAN DU HÄMTA UPPSATSEN I FULLTEXT. (följ länken till nästa sida)